常用名 三甲基乙氧基硅烷 

别  名 乙氧基三甲基硅烷

英文名 Ethoxy(trimethyl)silane

CAS号 1825-62-3

EINECS 217-370-6 

分子式 C5H14OSi 

分子量 118.250

密  度 0.8±0.1 g/cm3 

沸  点 75.5±0.0 °C

熔  点 -83°C

闪  点 -18.9±0.0 °C

性  状 透明无色液体

用  途 用于合成有机硅化合物，也用作憎水剂