六甲基二硅氮烷

简  称 HMDS

别  名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷

外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE

分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3

分子量 161.39

CAS号 999-97-3

EINECS 213-668-5

密  度 0.770—0.780 

折光率 1.408±0.002

闪  点 27℃

沸  点 126℃ 

色  度 ≤10

性　状 无色透明液体、略带胺味

溶解性 溶于有机溶剂

用　途：

1.特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。